压力感测器是工业实践中最为常用的一种感测器，而我们通常使用的压力感测器主要是利用压电效应製造而成的，这样的感测器也称为压电感测器。

我们知道，晶体是各向异性的，非晶体是各向同性的。某些晶体介质，当沿着一定方向受到机械力作用发生变形时，就产生了极化效应；当机械力撤掉之后，又会重新回到不带电的状态，也就是受到压力的时候，某些晶体可能产生出电的效应，这就是所谓的极化效应。科学家就是根据这个效应研製出了压力感测器。

压电感测器中主要使用的压电材料包括有石英、酒石酸钾钠和磷酸二氢胺。其中石英（二氧化硅）是一种天然晶体，压电效应就是在这种晶体中发现的，在一定的温度範围之内，压电性质一直存在，但温度超过这个範围之后，压电性质完全消失（这个高温就是所谓的“居里点”）。由于随着应力的变化电场变化微小（也就说压电係数比较低），所以石英逐渐被其他的压电晶体所替代。而酒石酸钾钠具有很大的压电灵敏度和压电係数，但是它只能在室温和湿度比较低的环境下才能够套用。磷酸二氢胺属于人造晶体，能够承受高温和相当高的湿度，所以 已经得到了广泛的套用。在现在压电效应也套用在多晶体上，比如现在的压电陶瓷，包括钛酸钡压电陶瓷、PZT、铌酸盐系压电陶瓷、铌镁酸铅压电陶瓷等等。

压电效应是压电感测器的主要工作原理，压电感测器不能用于静态测量，因为经过外力作用后的电荷，只有在迴路具有无限大的输入阻抗时才得到保存。实际的情况不是这样的，所以这决定了压电感测器只能够测量动态的应力。

压电感测器主要套用在加速度、压力和力等的测量中。压电式加速度感测器是一种常用的加速度计。它具有结构简单、体积小、重量轻、使用寿命长等优异的特点。压电式加速度感测器在飞机、汽车、船舶、桥樑和建筑的振动和冲击测量中已经得到了广泛的套用，特别是航空和宇航领域中更有它的特殊地位。压电式感测器也可以用来测量发动机内部燃烧压力的测量与真空度的测量。也可以用于军事工业，例如用它来测量枪炮子弹在膛中击发的一瞬间的膛压的变化和炮口的冲击波压力。它既可以用来测量大的压力，也可以用来测量微小的压力。

压电式感测器也广泛套用在生物医学测量中，比如说心室导管式微音器就是由压电感测器製成的，因为测量动态压力是如此普遍，所以压电感测器的套用就非常广。

除了压电感测器之外，还有利用压阻效应製造出来的压阻感测器，利用应变效应的应变式感测器等，这些不同的压力感测器利用不同的效应和不同的材料，在不同的场合能够发挥它们独特的用途。

1、应变片压力感测器原理与套用 力学感测器的种类繁多，如电阻应变片压力感测器、半导体应变片压力感测器、压阻式压力感测器、电感式压力感测器、电容式压力感测器、谐振式压力感测器及电容式加速度感测器等。但套用最为广泛的是压阻式压力感测器，它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。下面我们主要介绍这类感测器。

在了解压阻式力感测器时，我们首先认识一下电阻应变片这种元件。电阻应变片是一种将被测件上的应变变化转换成为一种电信号的敏感器件。它是压阻式应变感测器的主要组成部分之一。电阻应变片套用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。金属电阻应变片又有丝状应变片和金属箔状应变片两种。通常是将应变片通过特殊的粘和剂紧密的粘合在产生力学应变基体上，当基体受力发生应力变化时，电阻应变片也一起产生形变，使应变片的阻值发生改变，从而使加在电阻上的电压发生变化。这种应变片在受力时产生的阻值变化通常较小，一般这种应变片都组成应变电桥，并通过后续的仪表放大器进行放大，再传输给处理电路（通常是A/D转换和CPU）显示或执行机构。

金属电阻应变片的内部结构

电阻应变片由基体材料、金属应变丝或应变箔、绝缘保护片和引出线等部分组成。根据不同的用途，电阻应变片的阻值可以由设计者设计，但电阻的取值範围应注意：阻值太小，所需的驱动电流太大，同时应变片的发热致使本身的温度过高，不同的环境中使用，使应变片的阻值变化太大，输出零点漂移明显，调零电路过于複杂。而电阻太大，阻抗太高，抗外界的电磁干扰能力较差。一般均为几十欧至几十千欧左右。

电阻应变片的工作原理

金属电阻应变片的工作原理是吸附在基体材料上应变电阻随机械形变而产生阻值变化的现象，俗称为电阻应变效应。金属导体的电阻值可用下式表示：

式中：ρ——金属导体的电阻率（Ω·cm2/m）

S——导体的截面积（cm2）

L——导体的长度（m）

我们以金属丝应变电阻为例，当金属丝受外力作用时，其长度和截面积都会发生变化，从上式中可很容易看出，其电阻值即会发生改变，假如金属丝受外力作用而伸长时，其长度增加，而截面积减少，电阻值便会增大。当金属丝受外力作用而压缩时，长度减小而截面增加，电阻值则会减小。只要测出加在电阻的变化（通常是测量电阻两端的电压），即可获得应变金属丝的应变情况。

2、陶瓷压力感测器原理及套用

抗腐蚀的陶瓷压力感测器没有液体的传递，压力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片产生微小的形变，厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面，连线成一个惠斯通电桥（闭桥），由于压敏电阻的压阻效应，使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号，标準的信号根据压力量程的不同标定为2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等，可以和应变式感测器相兼容。通过雷射标定，感测器具有很高的温度稳定性和时间稳定性，感测器自带温度补偿0～70℃，并可以和绝大多数介质直接接触。

陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。陶瓷的热稳定特性及它的厚膜电阻可以使它的工作温度範围高达-40～135℃，而且具有测量的高精度、高稳定性。电气绝缘程度>2kV，输出信号强，长期稳定性好。高特性，低价格的陶瓷感测器将是压力感测器的发展方向，在欧美国家有全面替代其它类型感测器的趋势，在中国也越来越多的用户使用陶瓷感测器替代扩散硅压力感测器。

3、扩散硅压力感测器原理及套用

工作原理

被测介质的压力直接作用于感测器的膜片上（不鏽钢或陶瓷），使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使感测器的电阻值发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标準测量信号。

4、蓝宝石压力感测器原理与套用

利用应变电阻式工作原理，採用硅-蓝宝石作为半导体敏感元件，具有无与伦比的计量特性。

蓝宝石系由单晶体绝缘体元素组成，不会发生滞后、疲劳和蠕变现象；蓝宝石比硅要坚固，硬度更高，不怕形变；蓝宝石有着非常好的弹性和绝缘特性（1000 OC以内），因此，利用硅-蓝宝石製造的半导体敏感元件，对温度变化不敏感，即使在高温条件下，也有着很好的工作特性；蓝宝石的抗辐射特性极强；另外，硅-蓝宝石半导体敏感元件，无p-n漂移，因此，从根本上简化了製造工艺，提高了重複性，确保了高成品率。

用硅-蓝宝石半导体敏感元件製造的压力感测器和变送器，可在最恶劣的工作条件下正常工作，并且可靠性高、精度好、温度误差极小、性价比高。

表压压力感测器和变送器由双膜片构成：钛合金测量膜片和钛合金接收膜片。印刷有异质外延性应变灵敏电桥电路的蓝宝石薄片，被焊接在钛合金测量膜片上。被测压力传送到接收膜片上（接收膜片与测量膜片之间用拉桿坚固的连线在一起）。在压力的作用下，钛合金接收膜片产生形变，该形变被硅-蓝宝石敏感元件感知后，其电桥输出会发生变化，变化的幅度与被测压力成正比。

感测器的电路能够保证应变电桥电路的供电，并将应变电桥的失衡信号转换为统一的电信号输出（0-5，4-20mA或0-5V）。在绝压压力感测器和变送器中，蓝宝石薄片，与陶瓷基极玻璃焊料连线在一起，起到了弹性元件的作用，将被测压力转换为应变片形变，从而达到压力测量的目的。

5、压电压力感测器原理与套用

压电感测器中主要使用的压电材料包括有石英、酒石酸钾钠和磷酸二氢胺。其中石英（二氧化硅）是一种天然晶体，压电效应就是在这种晶体中发现的，在一定的温度範围之内，压电性质一直存在，但温度超过这个範围之后，压电性质完全消失（这个高温就是所谓的“居里点”）。由于随着应力的变化电场变化微小（也就说压电係数比较低），所以石英逐渐被其他的压电晶体所替代。而酒石酸钾钠具有很大的压电灵敏度和压电係数，但是它只能在室温和湿度比较低的环境下才能够套用。磷酸二氢胺属于人造晶体，能够承受高温和相当高的湿度，所以已经得到了广泛的套用。

现在压电效应也套用在多晶体上，比如现在的压电陶瓷，包括钛酸钡压电陶瓷、PZT、铌酸盐系压电陶瓷、铌镁酸铅压电陶瓷等等。

压电效应是压电感测器的主要工作原理，压电感测器不能用于静态测量，因为经过外力作用后的电荷，只有在迴路具有无限大的输入阻抗时才得到保存。实际的情况不是这样的，所以这决定了压电感测器只能够测量动态的应力。

压电感测器主要套用在加速度、压力和力等的测量中。压电式加速度感测器是一种常用的加速度计。它具有结构简单、体积小、重量轻、使用寿命长等优异的特点。压电式加速度感测器在飞机、汽车、船舶、桥樑和建筑的振动和冲击测量中已经得到了广泛的套用，特别是航空和宇航领域中更有它的特殊地位。压电式感测器也可以用来测量发动机内部燃烧压力的测量与真空度的测量。也可以用于军事工业，例如用它来测量枪炮子弹在膛中击发的一瞬间的膛压的变化和炮口的冲击波压力。它既可以用来测量大的压力，也可以用来测量微小的压力