仪器校正：自动校正

準直器：〇型：0.1 , 0.2 ,o.3mmф

□型：0.2x0.05, 0.05x0.2mm

样品观察：CCD摄像机

滤波器：Co, 自动切换

X-ray Station :电脑， 17?CRT

测量功能：自动测量，中心检查

补正功能：底材补正，已知样品补正

定性功能：KLM标示，能谱比较标示。

数据处理功能：MS-EXCEL标準配置

检测报告自动生成功能：MS-WORD标準配置

薄膜FP软体：可对应于含无铅焊锡在内的合金电镀或多层电镀的测量，套用範围广泛。

可列印检测报告：利用Microsoft的Office 作业系统可将检测报告工作之便简单快速地列印出来。

雷射自动对焦功能：只需轻轻按一下雷射对焦按钮，就可自动进行对焦。

防止冲撞功能：对于测量有高低差的样品时，配置了为防止样品和仪器冲撞的自动停止功能

(1) 样品室

SFT9200可移动量: 220 (W) × 150(D) × 150(H) mm

SFT9250可移动量: 400 (W) × 300(D) × 50(H) mm

SFT9255可移动量: 400 (W) × 300(D) × 15 (H) mm

样品种类: 固体，液体

检测环境: 大气

样品观察: 彩色CCD摄像头

X射线安全机构: 样品室盖按键开启，测样时自动上锁

安装环境：通风良好，温度10～35℃，湿度35～80%

(2) X射线发生部

照射方式: 由上往下照射（避免凹凸样品不能测试）

X射线管 : W 靶

管电压 : 45Kv

管电流 : 1mA

如图1所示，物质经X射线或粒子射线照线后，由于吸收多余的能量而变成不稳定的状态。从不稳定状态要回到稳定状态，此物质必需将多余的能量释放出来，而此时是以萤光或光的形态被释放出来。萤光X射线镀层厚度测量或成分分析仪的原理就是测量这被释放出来的萤光的能量及强度，来进行定性和定量分析。

镀层测厚仪工作原理：镀层测厚仪是将X射线照射在样品上，通过从样品上反射出来的第二次X射线的强度来。测量镀层等金属薄膜的厚度，因为没有接触到样品且照射在样品上的X射线只有45-75W左右，所以不会对样品造成损坏。同时，测量的也可以在10秒到几分钟内完成。