子进程指的是由另一进程（对应称之为父进程）所创建的进程。

子进程继承了对应的父进程的大部分属性，如档案描述符。在Unix中，子进程通常为系统调用fork的产物。在此情况下，子进程一开始就是父进程的副本，而在这之后，根据具体需要，子进程可以藉助exec调用来链式载入另一程式。

一个进程可能下属多个子进程，但最多只能有1个父进程，而若某一进程没有父进程，则可知该进程很可能由核心直接生成。在Unix与类Unix系统中，进程ID为1的进程（即init进程）是在系统引导阶段由核心直接创建的，且不会在系统运行过程中终止执行（可参见Linux启动流程）；而对于其他无父进程的进程，则可能是为在用户空间完成各种后台任务而执行的。另外，在对应的父进程结束执行后，进程就会变成孤儿进程，但之后会立即由init进程“收养”为其子进程。
当某一子进程结束、中断或恢复执行时，核心会传送SIGCHLD信号予其父进程。在默认情况下，父进程会以SIG_IGN函式忽略之[1]。
某一子进程终止执行后，若其父进程未提前调用wait，则核心会持续保留子进程的退出状态等信息，以使父进程可以wait获取之[2] 。而因为在这种情况下，子进程虽已终止，但仍在消耗系统资源，所以其亦称殭尸进程。wait常于SIGCHLD信号的处理函式中调用。