气态源分子束外延

中文名称	气态源分子束外延
英文名称	gas source molecular beam epitaxy，GSMBE
定　　义	对化合物半导体薄膜而言，某些组分採用固体源物质，而某些组分採用气态源物质的分子束外延生长的技术。
套用学科	材料科学技术（一级学科），半导体材料（二级学科），半导体材料製备（三级学科）

基本介绍