机械微加工技术是指主要针对特徵尺寸在0.01~10mm 範围的微小零件的製造，是用“小工具机加工小零件”，具有体积小、能耗低、生产灵活、效率高等特点，是加工非硅材料(如金属、陶瓷等) 微小零件的最有效的加工方法。
机械微加工的一个重要关键技术是微机械加工工具机设备的製造。微工具机设备，其加工系统统尺寸小、主轴转速高，设计製造难度较大。近年来，国内外研製出多种多轴联动小型加工工具机。机械微加工除了微切削加工外，还可採用精微特种加工技术来实现。採用用高频率、小脉冲能量、小进给量电火花加工工艺，製作成功的微汽车模具以及用该模具压製出的微塑胶汽车，其尺度为1mm 左右。