马志波，西北工业大学机电学院工程师。主要研究方向及内容：主要从事微/纳製造工艺，微纳複合製造以及纳米图形化方法研究，微光学和微压力感测器製造工艺研究等。
基本介绍
- 中文名：马志波
- 出生日期：1978年2月
- 性别：男
- 学历：硕士、在职博士
论文作品
1) Zhibo Ma, Chengyu Jiang, Weizheng Yuan. A triple-layer protection process for high-aspect-ratio silicon micronachining by DRIE OF SOI substrates. J. Micromech. Microeng. 2012, 22 055028 (SCI).
2) Zhibo Ma, Sen Ren, Dayong Qiao, Weizheng Yuan，Fabrication of a Novel Resonant Pressure Sensor Based on SOI Wafer. 2nd Integration & Commercialization of Micro & Nanosystems International Conference & Exhibition. Clear Water Bay, Kowloon, Hong Kong, June 3-5, 2008.
3)马志波,姜澄宇,任森,苑伟政.基于SOI的硅微谐振式压力感测器晶片製作. 2012, 25(2), 180-183.
4)马志波,乔大勇,虞益挺,苑伟政,姜澄宇，一种新型CCD图像採集系统设计.感测技术学报, 2006, 19(4): 1250-1252.
5)马志波,乔大勇,苑伟政,姜澄宇，MEMS微结构粘附问题研究.航空精密製造技术. 2006, 42(6): 9-11.
专利产品
1)高占空比自支撑纳米透射光栅及其製作方法马志波，姜澄宇，苑伟政。
2)一种纳米结构的图形转移製作方法马志波，姜澄宇，苑伟政。
3)一种高悬浮空间MEMS可动器件的製作方法。苑伟政，马志波，乔大勇，任森，吕湘连。
4)微型纵向驱动器苑伟政，乔大勇，马志波，吕湘连。
5)一种微型平板静电驱动器及其製作方法苑伟政，乔大勇，虞益挺，马志波。